特許
J-GLOBAL ID：200903024360788247

プロービング試験装置

発明者：
草野 達也

草野 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204903
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033483
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 小サイズ化したパッドに対してもプローブを確実に接触させることができ、正確な試験を行うことができるプロービング試験装置を提供する。【解決手段】 装置本体のプロービング部に装着されたプローブカード34に対し被試験ウェハである半導体ウェハ28をステージ上に対向配置し、プローブカード34に設けられたプローブ37を半導体ウェハ28の対応するパッド36に導通するように接触させて試験を行うようにした装置で、プローブ37が、タングステン製の球体でなると共にプローブカード34の下向き開口42を有するボックス40内に遊転可能に収納され取り付けられ、プローブ37が、半導体ウェハ28のパッド36に接触している状態でプローブカード34の電極パッド43に接触し、パッド36に接触していない状態では電極パッド43に非接触となるようになっている。
請求項（抜粋）：
装置本体に装着されたプローブカードに対し被試験ウェハを対向配置し、前記プローブカードに設けられたプローブを前記被試験ウェハの対応するパッドに導通するように接触させて試験を行うプロービング試験装置において、前記プローブが、球体でなると共に前記プローブカードに遊転可能に取り付けられていることを特徴とするプロービング試験装置。
IPC (2件)：
G01R 1/067 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 1/067 L ,  H01L 21/66 B
Fターム (19件)：
2G011AA03 ,  2G011AA17 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AC01 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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