特許
J-GLOBAL ID：200903024378781169

セラミックス膜の製造方法及びセラミックス膜を含む構造物

発明者：
坂下 幸雄

坂下 幸雄 について

, 
藤井 隆満

藤井 隆満 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-331784
公開番号（公開出願番号）：特開2006-188046
出願日： 2005年11月16日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】 AD法を用いて、高温プロセスを経ることなく結晶性の良い膜を作製できるセラミックス膜の製造方法等を提供する。 【解決手段】 この製造方法は、エアロゾルを利用したセラミックス膜の製造方法であって、非結晶性の成分を含有するセラミックス原料粉をガスに分散させることによってエアロゾルを生成する工程(a)と、工程(a)において生成されたエアロゾルを基板が配置されたチャンバ内に供給して、上記セラミックス原料粉を基板に堆積させることにより膜を形成する工程(b)とを含む。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
エアロゾルを利用したセラミックス膜の製造方法であって、 非結晶性の成分を含有するセラミックス原料粉をガスに分散させることによってエアロゾルを生成する工程(a)と、 工程(a)において生成されたエアロゾルを基板が配置されたチャンバ内に供給して、前記セラミックス原料粉を前記基板に堆積させることにより、膜を形成する工程(b)と、 を具備するセラミックス膜の製造方法。
IPC (10件)：
B28B 1/32 ,  C23C 14/00 ,  C04B 35/622 ,  C04B 35/64 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  C23C 24/04 ,  B05D 1/06 ,  B05D 7/24
FI (10件)：
B28B1/32 C ,  C23C14/00 Z ,  C04B35/00 D ,  C04B35/64 F ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  C23C24/04 ,  B05D1/06 H ,  B05D7/24 302A
Fターム (72件)：
4D075AA02 ,  4D075AA62 ,  4D075AA73 ,  4D075AA76 ,  4D075BB23X ,  4D075BB25Z ,  4D075BB28Y ,  4D075BB37Z ,  4D075BB44Z ,  4D075BB46Z ,  4D075BB49Z ,  4D075BB60Z ,  4D075CA21 ,  4D075DA06 ,  4D075DB04 ,  4D075DB11 ,  4D075DC16 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075EA02 ,  4D075EB05 ,  4G030AA02 ,  4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA12 ,  4G030AA13 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA22 ,  4G030AA25 ,  4G030AA26 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA31 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA39 ,  4G030AA40 ,  4G030AA43 ,  4G030AA45 ,  4G030AA46 ,  4G030AA47 ,  4G030AA50 ,  4G030AA52 ,  4G030BA10 ,  4G030CA01 ,  4G030CA02 ,  4G030CA08 ,  4G030GA01 ,  4G030GA09 ,  4G030GA10 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA23 ,  4G030GA27 ,  4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BD03 ,  4K029CA00 ,  4K044BA12 ,  4K044BC14 ,  4K044CA27
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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