特許
J-GLOBAL ID：200903024393892805

切削装置

発明者：
大宮 直樹

大宮 直樹 について

, 
菅野 洋平

菅野 洋平 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-257665
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066869
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ジャバラ布が受け止めた切削水をウォーターケースを介して排水する機構を備えた切削装置において、硬質材料の切削によって鋭利な刃物のような端材が飛散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにして装置内部に切削水が侵入するのを防止する。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル21と、回転ブレード31によって切削をする切削手段22と、チャックテーブル21の送り手段24と、切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布43、44と、ジャバラ布43、44が受け止めた切削水を排水するウォーターケース47とを備えた切削装置10において、ジャバラ布の上部を保護シート11によって覆い、ジャバラ布の伸縮に伴って保護シート11を巻き取りまたは送り出す保護シート巻き取り/送り出し手段12を配設する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を遂行する切削手段と、該チャックテーブルを切削方向に往復移動させる送り手段と、一端部が該チャックテーブルを支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布と、該ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であって、該ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、該ジャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは送り出す保護シート巻き取り/送り出し手段が配設されている切削装置。
IPC (2件)：
B23Q 11/08 ,  H01L 21/301
FI (2件)：
B23Q 11/08 B ,  H01L 21/78 F
Fターム (1件)：
3C011DD06
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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