多孔質静圧気体軸受

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田武志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-158332
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346071
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】供給高圧気体の漏出をなくして供給高圧気体の利用効率を上げることができて軸受隙間に気体膜を所望に形成できる多孔質静圧気体軸受を提供すること。【解決手段】多孔質静圧気体軸受1は、裏金2と、裏金2の内周面3に固定された多孔質焼結金属層6とを具備しており、多孔質焼結金属層6の端面8及び9には、当該端面8及び9を覆って且つ多孔質焼結金属層6の内周面10を越えて突出しないようにして封止材11及び12が固着されている。

請求項（抜粋）：

裏金と、この裏金の一方の面に固定された多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼結金属層の端面には、当該多孔質焼結金属層の端面を覆って且つ多孔質焼結金属層の軸受面を越えて突出しないようにして封止材が固着されている多孔質静圧気体軸受。

IPC (3件)：

F16C 32/06 , B22F 5/00 , B22F 7/00

FI (3件)：

F16C 32/06 B , B22F 7/00 D , B22F 5/00 C

Fターム (19件)：

3J102AA02 , 3J102BA03 , 3J102BA17 , 3J102CA36 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA16 , 3J102EA17 , 3J102EA18 , 3J102EA24 , 3J102FA08 , 4K018AA08 , 4K018AB01 , 4K018AB02 , 4K018AB03 , 4K018AB04 , 4K018AB07 , 4K018KA03 , 4K018KA22

引用特許：

審査官引用 (8件)

気体静圧軸受け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-346586 出願人：株式会社ニコン
滑りベアリング及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-106198 出願人：ウーチャンリー
特開平2-256915

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