特許
J-GLOBAL ID：200903024421922863
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057318
公開番号（公開出願番号）：特開2000-255069
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】【課題】インクジェット記録およびその製造方法において、高解像度の、耐久性に優れた製造方法を提供する。【解決手段】ノズルプレート基板材に、フォトレジストエッチング法を応用して高精度のノズル孔を穿設すること、このノズル孔とプレート表面部に金あるいは銅の金属薄膜を形成すること、この金属薄膜表面にふっ化アルカンチオールの皮膜を形成すること、およびこのノズルプレートをリザーバープレートと接着し、さらにこれを圧電素子プレートと接着することからなる、上記インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法。
請求項（抜粋）：
ノズルプレートとなる基板にインク吐出口を穿設し、これに撥水性皮膜処理をほどこしてインク貯溜室となる間隙を設けたリザーバープレートに接着、さらにこれをピエゾ圧電素子配設プレートに接着してインク吐出口、インク流路、インク液室、インク供給口、吐出エネルギー発生素子を連結、ヘッド部分を構成したことを特徴とする、インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
2C057AF65
, 2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG44
, 2C057AP13
, 2C057AP29
, 2C057AP33
, 2C057AP60
, 2C057AQ01
, 2C057AQ06
, 2C057BA04
, 2C057BA14
