特許
J-GLOBAL ID：200903067970868995
インクジェットヘッドとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021851
公開番号（公開出願番号）：特開平10-217457
出願日： 1997年02月04日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】ノズル面を形成するノズル部材上に金を成膜すると、微量ながらノズル部材のノズル面の裏面にも金が付着する。この基板を硫黄化合物を溶解した溶液を浸すと、撥インク性を有する硫黄化合物が吸着する。したがってノズル部材のノズル面の裏面に撥インク性があると、接着材を弾き、ノズル面と他の部材が接着されない。【解決手段】(1)においてノズル部材401にスパッタ法によりノズル面側に金を成膜する。ノズル面側の金402は均一に成膜される。ノズル孔407かいしてノズル孔407の周囲にもわずかにノズル面の反対面側の金403が成膜される。次に(2)において硫黄化合物が金の上に吸着される。硫黄化合物はノズル面側の硫黄化合物404とノズル面の反対面側の金403の両面に形成される。次に(3)において、ノズル面の反対面側に紫外線406を照射する。紫外線406により硫黄化合物は分解除去され、消失する。
請求項（抜粋）：
キャビテイと、キャビテイに体積変化を及ぼす加圧装置と、ノズル部材に形成されたインク滴を吐出せしめるノズルからなるインクジェットヘッドに於いて、前記ノズル部材の表面上に金と硫黄化合物から成る層を形成することを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/135
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 N
