特許
J-GLOBAL ID:200903024446709315
光重合性組成物、画像形成材料及び画像形成材
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
重野 剛
, 長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-114906
公開番号(公開出願番号):特開2006-293094
出願日: 2005年04月12日
公開日(公表日): 2006年10月26日
要約:
【課題】 レジスト画像形成のために用いた場合において、感度、解像性、密着性及び現像性に優れると共に、レジスト加工後のレジスト画像の剥離、除去が容易である光重合性組成物であって、特に、青紫レーザー光、紫外光による直接描画に用いるに好適な光重合性組成物を提供する。【解決手段】 下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分を含有してなることを特徴とする光重合性組成物。 (A)脂環式不飽和炭化水素類に由来する構成繰返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂 (B)エチレン性不飽和化合物 (C)光重合開始剤【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分を含有してなることを特徴とする光重合性組成物。
(A)脂環式不飽和炭化水素類を共重合成分として含有するアルカリ可溶性樹脂
(B)エチレン性不飽和化合物
(C)光重合開始剤
IPC (6件):
G03F 7/033
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, G03F 7/004
, G03F 7/031
, H01L 21/027
FI (7件):
G03F7/033
, C08F2/44 B
, C08F2/44 C
, C08F2/50
, G03F7/004 503Z
, G03F7/031
, H01L21/30 502R
Fターム (33件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AA16
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA22
, 2H025CA28
, 2H025CA41
, 2H025CB08
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 4J011PA43
, 4J011PA69
, 4J011PB25
, 4J011PB38
, 4J011QA12
, 4J011QA14
, 4J011QA21
, 4J011QA23
, 4J011SA78
, 4J011SA89
引用特許:
前のページに戻る