特許

J-GLOBAL ID：200903024449493089

光学装置及び粒子線装置

発明者： ユルゲン フロジエン ,  シュテファン ラニオ ,  ラインホルト シュミット ,  ゲラルド シェーネッカー
出願人/特許権者： エイシーティー アドバンスト サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア テストジュステームエントヴィックリング ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-300741
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268096
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 粒子線に影響を与えるための電界装置を備えた光学装置及びそのような光学装置を備えた粒子線装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光学装置は粒子線(6) に影響を与えるための電界装置(1) を備え、この電界装置は少なくとも1つの第1の電極(2) 及び少なくとも1つの第2の電極(3) よりなる。これらの電極は、粒子線(6) 方向に互いに前後に配置され、各々或る電位が印加され、粒子線のための通路を有する高抵抗体(4) に電気的に接触している。光学装置は更に、電界装置の領域に配置され粒子線に影響を与えるための更なる構成要素(210-217) を有する。

請求項（抜粋）：

粒子線(6) 方向に互いに前後に配置され各々或る電位が印加され上記粒子線のための通路(5) を有する高抵抗体(4) に電気的に接触している少なくとも1つの第1の電極(2) 及び少なくとも1つの第2の電極(3) よりなり上記粒子線(6) に影響を与えるための電界装置(1) と、上記電界装置の領域にて上記粒子線に影響を与えるための更なる構成要素(210-217) と、を有する光学装置。

IPC (2件)：

G21K 1/087 ,  H01J 37/12

FI (2件)：

G21K 1/087 F ,  H01J 37/12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電レンズおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-138060   出願人：株式会社東芝