特許
J-GLOBAL ID：200903024456619756
微細構造物の製造方法、光学素子、集積回路および電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-294879
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133032
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】液体材料を用いて所望パターンを形成するときに、所望パターンにおける液体材料の保持力を高めることができる微細構造物の製造方法、光学素子、集積回路および電子機器を提供する。【解決手段】所望形状のパターン(例えば、画素領域1)の領域内に親液処理を施して親液領域12を設け、親液領域12の外側に撥液領域11を設け、親液領域12と撥液領域11との境界線を、該パターン内に充填された液体材料20が該パターン内から出ようとする力を分散させる形状、例えばノコギリ歯形状にすることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
部材の表面に所望形状のパターンを形成して製造する微細構造物の製造方法であって、
前記パターンの外側に第1撥液領域を形成して、液体材料を塗布することで所望のパターンを形成するときに、
パターンの境界領域近傍に該パターン内に充填された液体材料が該パターン内から出ようとする力を分散させる形状にすることを特徴とする微細構造物の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BA64
, 2H048BB01
, 2H048BB07
, 2H048BB08
, 2H048BB37
, 2H048BB44
, 2H091FA02Y
, 2H091FB02
, 2H091FC18
, 2H091FC22
, 2H091FD02
, 2H091LA12
, 2H091MA10
