静電チャック付セラミックスヒーター

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152232
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153824
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明は半導体プロセスでのくり返し熱処理における昇降温でも剥離やクラック発生などのない静電チャック付セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】本発明の静電チャック付セラミックスヒーターは、グラファイトからなる基材上に、熱分解窒化ほう素からなる緩衝層を設け、その上に熱分解グラファイトからなる静電チャック用電極と熱分解グラファイトからなる発熱層を設け、さらにその上に熱分解窒化ほう素からなる絶縁層を設けてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

グラファイトからなる基材上に、熱分解窒化ほう素からなる緩衝層を設け、その上に熱分解グラファイトからなる静電チャック用電極と熱分解グラファイトからなる発熱層を設け、さらにその上に熱分解窒化ほう素からなる絶縁層を設けてなることを特徴とする静電チャック付セラミックスヒーター。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , C04B 37/00 , C23C 16/30 , H01L 21/22 501 , H01L 21/324 , H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

ホツトプレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-313295 出願人：電気化学工業株式会社
特開平4-034953
特開昭59-124140

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