製造設備の汚れ度合いおよび洗浄効果の測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325574
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166568
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】各種製造設備における機器の汚れを検出し、洗浄操作における洗浄効果を測定して洗浄効果の確認を行うことを目的とする。【解決手段】発熱作用を有する発熱センサーもしくは発熱体とその発熱温度を測定する測温素子とを内蔵した発熱バンドを用いて、その発熱センサー表面に付着する汚れ又は発熱バンドと接した製造設備の内側表面に付着する汚れを原因とした熱伝達の変化による温度、電圧の変動などから汚れの付着度合いを測定するとともに洗浄操作時における汚れの脱着状態を前記測定項目から検出することにより、各種製造機器の汚れや洗浄効果を判定する。

請求項（抜粋）：

発熱温度の測定が可能な発熱作用を有する発熱センサーを用いて、発熱体を発熱させて、その発熱温度もしくは内蔵する発熱体の電圧の変化を測定することを特徴とする製造設備の汚れ度合いおよび洗浄効果の測定方法。

IPC (3件)：

G01N 27/14 , G01K 7/18 , G01N 25/44

FI (3件)：

G01N 27/14 , G01K 7/18 A , G01N 25/44

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平2-074856
特開平1-274435
管内付着物の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-023951 出願人：株式会社日立製作所

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