ホローカソード

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：大城重信 , 加藤雅夫 , 山田益男 , 佐藤文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335618
公開番号（公開出願番号）：特開2004-169606
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】放電容器内に生成される内部プラズマが外部プラズマにつながるときの通路となるオリフィスが形成されているオリフィス板から、放電容器等の外側への熱流出を抑制して熱設計上の諸問題を解消するホローカソードを提供する。【解決手段】ヒータ9を有する中空状のカソードチューブ32には電子源としてのカソードインサート1が挿入されており、カソードインサート1の空洞部2にはガス導入系によって導かれた作動ガスを電離させて内部プラズマが形成される。内部プラズマは、カソードチューブ32の先端部に取り付けられているオリフィス板30に形成されたオリフィス7から放出される。オリフィス板30の下流側には低輻射率材料からなる1枚(又は複数枚)の熱流量調整板41が設けられており、オリフィス板30から放電容器等の外側への熱流出が抑制される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ヒータを有する中空状のカソードチューブと、前記カソードチューブの先端部に取り付けられたオリフィスを有するオリフィス板と、前記カソードチューブに挿入され空洞部を持つ電子源としてのカソードインサートと、前記カソードチューブの内部に作動ガスを導入するガス導入系と、前記ガス導入系によって導かれた作動ガスを電離させて前記カソードインサートの前記空洞部内にプラズマを生成する手段とを有するホローカソードにおいて、前記オリフィス板の下流側に低輻射率材料からなる1枚又は複数枚の熱流量調整板が設けられていることを特徴とするホローカソード。

IPC (1件)：

F03H1/00

FI (1件)：

F03H1/00 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

引出し電極およびイオンビーム処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-177766 出願人：株式会社日立製作所
特開昭57-107539
イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-266545 出願人：株式会社日立製作所

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