ガスセンサ素子及びその製造方法、並びにガスセンサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073083
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277431
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】製造時に切断工程を経ることで素子の切断面に凹凸が生ずる場合にも、得られる素子の機械的強度を有効に向上させ、かつセラミックヒータの通電時における熱衝撃に対してもクラックが生じ難いガスセンサ素子を提供する。【解決手段】固体電解質からなる素子本体層に、検知電極及び基準電極を形成した長尺状の酸素濃淡電池素子と、発熱抵抗体を、第一ヒータ本体層及び第二ヒータ本体層にて挟む形で形成した長尺状のセラミックヒータとを少なくとも積層した構造のガスセンサ素子における露出面のうちで、少なくとも素子の長手方向における積層界面が露出した両側面(即ち、切断面にあたる側面)に対して、絶縁皮膜を形成する。そして、その絶縁皮膜の表面粗度を40μmRmax以下とすることで、この積層タイプのガスセンサ素子は、セラミックヒータの通電磁における熱衝撃に対してクラックが生じ難くなり、機械的強度にも優れる。

請求項（抜粋）：

固体電解質で構成された素子本体層に、検知電極及び基準電極を形成した長尺状の酸素濃淡電池素子と、発熱抵抗体を、第一ヒータ本体層及び第二ヒータ本体層にて挟む形で形成した長尺状のセラミックヒータと、を少なくとも積層してなるガスセンサ素子であって、当該ガスセンサ素子のうち、少なくとも長手方向における積層界面が露出した両側面に絶縁皮膜が形成されるとともに、前記絶縁皮膜の表面粗度が40μmRmax以下とされていることを特徴とするガスセンサ素子。

IPC (2件)：

G01N 27/409 , G01N 27/416

FI (2件)：

G01N 27/58 B , G01N 27/46 371 G

Fターム (15件)：

2G004BB04 , 2G004BC02 , 2G004BD04 , 2G004BE13 , 2G004BE22 , 2G004BE23 , 2G004BF18 , 2G004BF27 , 2G004BG05 , 2G004BH09 , 2G004BJ03 , 2G004BJ05 , 2G004BL08 , 2G004BM04 , 2G004BM07

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-262458
特開平3-120456
酸素濃度検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340136 出願人：日本電装株式会社

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