特許

J-GLOBAL ID：200903024599564359

被切削物のダイシング方法

発明者： 松端 利成
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127009
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】ワークのカット終端位置に達したときブレードを速やかに待避させることによってワークが薄くなるを防止する。【解決手段】ダンシングブレード5をワーク3に押し当てながらダイサ1を速度vで移動させ、ダンシングブレードの刃先がワーク3のカット終端位置に達するとダイサ1を速度4vで移動させる。これにより、カット終了後にダンシングブレード5をワーク3から速やかに待避させる。

請求項（抜粋）：

被切削物をダイサ上に位置合わせ固定した後、ダイシングブレードを回転させて該被切削物に押し当てながらダイサに対し相対的に移動させ、ダイシングブレードの刃先が被切削物のカット終端位置に達して該被切削物を切り終えたときに、該ダイシングブレードのダイサに対する相対移動速度を速めて該切削物から速やかに待避させることを特徴とする、被切削物のダイシング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  H01G 13/00 391

FI (2件)：

H01G 13/00 391 H ,  H01L 21/78 F

Fターム (9件)：

5E082AA01 ,  5E082AB01 ,  5E082BC38 ,  5E082FG08 ,  5E082FG26 ,  5E082FG52 ,  5E082MM11 ,  5E082MM21 ,  5E082PP10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-158548
  
• ダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-147011   出願人：株式会社ディスコ
• 特開平4-158548