特許

J-GLOBAL ID：200903024608128230

非接触三次元測定方法

発明者： 門脇 聰一 ,  後藤 智徳 ,  堀内 直治 ,  小松 浩一 ,  浅野 秀光
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161097
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351840
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 ワークの測定箇所が傾いたり、微細な凹凸であって高精度な三次元測定を可能にする。【解決手段】 2種類の測定手段、即ち画像測定装置で使用されるCCDカメラ34と、レーザビームを利用して非接触で変位を測定するレーザプローブ35とを併設して1つの撮像ユニット17を構成し、この撮像ユニット17を各測定値に基づいて、XYZ方向に駆動しつつ、設定された測定軌道に沿ってレーザプローブ34がワーク12の変位量を測定していく。これにより得られた点列データに対してトレンド補正を実行し、三次元データを二次元データに変換する。変換された二次元データを定ピッチ化処理したのちフィルタ処理する。

請求項（抜粋）：

ワークを撮像して画像測定用の二次元画像情報を出力する撮像手段及び前記ワーク上の所定の測定点との距離を変位量として検出可能な非接触変位計とを備えた撮像ユニットを測定三次元空間内で移動させることにより三次元点列データを得る非接触三次元測定方法であって、前記撮像手段を用いてワークを画像測定してワークの位置を確認するステップと、この位置に基づいて前記非接触変位計を所定の測定開始点に移動させたのち、指定された測定軌道に沿って倣い測定を実行することにより三次元の点列データを取得するステップと、このステップで得られた点列データに対してトレンド補正を実行するステップと、このステップでトレンド補正された三次元データを二次元データに変換するステップと、このステップで得られた二次元データに定ピッチ化処理を施すステップと、このステップで定ピッチ化された二次元データにフィルタ処理を施すステップとを備えたことを特徴とする非接触三次元測定方法。