特許

J-GLOBAL ID：200903024615580262

走査形電子顕微鏡

発明者： 戸所 秀男 ,  久保 俊男 ,  寺門 貞夫 ,  大高 正
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-296397
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148232
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【目的】 半導体素子の表面と内部の観察を同一の装置で行い、検査の迅速化と微細化対応を図る。【構成】 走査形電子顕微鏡の加速電源18、20を切り替えて照射電子ビーム15のエネルギーを半導体試料25を帯電することなく観察できる低エネルギー領域と高エネルギー領域の両領域に切り替えできるようにし、半導体プロセス検査で必要な表面観察と内部観察の両機能が得られるようにした。

請求項（抜粋）：

電子源と、前記電子源より放出された電子ビームを試料に照射して得られた二次信号を検出する検出器とを備えた走査形電子顕微鏡において、前記検出器より前記電子源側に、前記電子ビームの通過開口を有する導電部材を備えてなることを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/244

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-234859
  
• 電子ビーム検査方法とそのシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-124951   出願人：日本ケー・エル・エー株式会社
• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092441   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭60-047358