カーボン膜の膜厚測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164135
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014947
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【構成】非磁性支持体上に金属磁性薄膜と未知の膜厚を有するカーボン膜とが形成されてなる磁気記録媒体にに対して、X線光電子分光法による観測を行って、炭素原子のピーク面積強度IC と、金属磁性薄膜を構成する金属原子のピーク面積強度IM とを測定する工程と、カーボン膜が20nm以上形成されてなる磁気記録媒体から炭素原子のピーク面積強度IC 0 を測定する工程と、カーボン膜が形成されていない磁気記録媒体から金属磁性薄膜を構成する金属原子のピーク面積強度IM 0 を測定する工程と、定数λの値を算出する工程とを経て、下式に、前記IC 、IM 、IC 0 、IM 0 の測定値、前記定数λの算出値、光電子脱出角度αの値を代入することによって、未知のカーボン膜の膜厚dC を求める。dC =λ sinα・ln[(IC /IM )/(IC 0 /IM 0 )+1]【効果】磁気記録媒体におけるカーボン膜の膜厚制御が適正に行えるようになり、薄くても実用上必要な耐久性を有するカーボン膜が得られる。

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に金属磁性薄膜と未知の膜厚を有するカーボン膜とが形成されてなる磁気記録媒体について、該カーボン膜の膜厚dC を測定するに際し、前記磁気記録媒体に対して、X線光電子分光法による観測を行って、炭素原子の1s準位に対応したピーク面積強度IC と、金属磁性薄膜を構成する金属原子の2p準位に対応したピーク面積強度IM とを測定する工程と、カーボン膜が20nm以上形成されてなる磁気記録媒体に対して、X線光電子分光法による観測を行って、炭素原子の1s準位に対応したピーク面積強度IC0 を測定する工程と、カーボン膜が形成されていない磁気記録媒体に対して、X線光電子分光法による観測を行って、金属磁性薄膜を構成する金属原子の2p準位に対応したピーク面積強度IM 0 を測定する工程と、定数λの値を算出する工程とを経た後、下記の式(1)に、前記IC 、IM 、IC 0 、IM 0 の測定値、前記定数λの算出値、光電子脱出角度αの値を代入して、膜厚dC を算出することを特徴とするカーボン膜の膜厚測定方法。 dC =λ sinα・ln[(IC /IM )/(IC 0 /IM 0 )+1] ・・・(1)

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-128306
多層薄膜の非破壊定量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-009927 出願人：株式会社日立製作所
特開昭60-128306

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