特許
J-GLOBAL ID：200903024657572294
アライメントステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047552
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243766
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 移動ステージを垂直に配置しても、移動ステージが基台からはずれることなく安定して支持することができる。【解決手段】 移動ステージ2と基台1とを結合する結合部3は、移動ステージ2を2次元的に回転可能に支持する回転軸6と、この回転軸6と前記基台1とを結合するクロス直交ガイド7とからなる。回転軸6には、軸体8が軸受け9から離脱しないように止め部材10が設けられている。クロス直交ガイド7は、第1レール11と第2レール12とがレール支持体13を介して互いに直交する方向にのみ摺動するように構成されており、どちらのレールも摺動方向以外には移動しない。第1レール11は、結合部材14を介して前記軸体8に固設されており、第2レール12は前記基台1に固設されている。従って移動ステージ2を垂直に配置しても、移動ステージ2は基台1に対しZ方向への移動は禁止された状態で、ステージ表面の面内方向で2次元的に移動可能に支持される。
請求項（抜粋）：
その表面に被対象物を保持する移動ステージを、固定された基台に対して移動ステージの表面と同じ平面内で2次元的に平行移動及び回転させて、被対象物の位置決めを行うアライメントステージであって、前記平面内での前記平行移動および回転を許容しつつ、前記移動ステージの表面に垂直な方向において前記移動ステージと前記基台とを遊離不能に結合する結合部、を備えることを特徴とするアライメントステージ。
IPC (3件)：
G12B 5/00
, G01B 11/00
, G03F 9/00
G12B 5/00 T
, G01B 11/00 A
, G03F 9/00 Z
