特許

J-GLOBAL ID：200903024663877340

軟X線反射率測定方法とそのための装置

発明者： 中野 健司 ,  古田 真也 ,  武市 晃洋 ,  則竹 達夫 ,  野田 正治 ,  東 博純 ,  井下 章 ,  井 洋喜
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所 ,  株式会社トヨタマックス
代理人 (2件)： 岡田 英彦 (外3名) ,  岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-127197
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318945
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 試料にX線を照射してその反射強度を測定することによってその試料のX線反射率を測定する際に、X線の波長選択とX線の集光を一度の反射で同時に実現し、もって測定用の波長を有するX線のエネルギ密度が高い状態を作り出し、この高いエネルギ密度のX線によって反射率を測定する。【解決手段】 この測定装置は、ターゲット物質4から発生した軟X線を入射する平面結像型回折格子7と、その平面結像型回折格子7の結像面内で移動可能な波長選択用スリット9と、その波長選択用スリット9に隣接して配置されている試料8と、その試料8で反射した軟X線の強度を測定する強度計11を持つ。平面結像型回折格子7は一度の反射で波長選択と集光を同時に実現するためにエネルギ密度の高いX線を利用した反射率の測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

軟X線発生装置から発生した軟X線を平面結像型回折格子に導く工程と、その平面結像型回折格子の結像面内で測定用波長の軟X線が集光されている位置に波長選択用スリットを置く工程と、集光された状態でその波長選択用スリットを透過する測定用波長の軟X線を試料に照射する工程と、その試料で反射された測定用波長の軟X線の強度を測定する工程とを有する軟X線反射率測定方法。

IPC (3件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/207 ,  G21K 1/06

FI (3件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/207 ,  G21K 1/06 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-299240
  
• 蛍光X線分光方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192927   出願人：日本電信電話株式会社, 理学電機工業株式会社