ステージ機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167135
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356693
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】ステージ機構において、ビームのたわみによる機能低下を防止する。【解決手段】ビーム6はベース1の上方に所定の間隔をおいて位置し予め定められた方向に延びている。移動体14はビームをガイドとしてビームに沿って移動する。移動体にはビームの外側に突出する位置でベースに当接する移動体用静圧空気軸受けパッド14a乃至14cが配設されており、ビームにはベースとの間に介在して少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッド15が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

ベースの上方に所定の間隔をおいて位置し予め定められた方向に延びるビームと、該ビームをガイドとして前記ビームに沿って移動する移動体とを有し、前記移動体には前記ビームの外側に突出する位置で前記ベースに当接する少なくとも3つの移動体用静圧空気軸受けパッドが配設されており、前記ビームには前記ベースとの間に介在して少なくとも一つのビーム用静圧空気軸受けパッドが取り付けられていることを特徴とするステージ機構。

Fターム (2件)：

2F078CA08 , 2F078CC15

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-188242
静圧浮上ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-080171 出願人：日本電信電話株式会社

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