特許
J-GLOBAL ID：200903024758166122
半導体試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195547
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038094
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】試験条件変更時の切替え時間を短縮し、更にDUTに供給される直流オフセット電圧がゼロとなるのを防止した任意波形発生装置とする半導体試験装置を提供する。【解決手段】階段状のアナログ信号を出力する上記第1のDA変換器の出力をON/OFF制御する交流波形出力制御手段を具備し、直流のオフセット信号を発生する上記第2のDA変換器の出力をON/OFF制御する直流オフセット信号の出力制御手段を具備し、試験条件に対応して上記交流波形出力制御手段と上記直流オフセット信号の出力制御手段を所定に制御して波形発生条件変更に伴うセットリング時間を短縮する制御手段を具備する。
請求項（抜粋）：
連続して波形データを出力する波形データ発生部と、該波形データを受けてクロックに同期してDA変換した階段状のアナログ信号を出力する第1のDA変換器と、直流のオフセット電圧あるいは電流信号を発生する第2のDA変換器と、該直流のオフセット信号と該アナログ波形信号を受けて両信号を加算して出力するアナログ加算器と、該アナログ加算器の加算出力信号をバッファして出力するバッファ増幅器とを有して被試験デバイス(DUT)へ任意の波形信号を供給する半導体試験装置の任意波形発生装置において、階段状のアナログ信号を出力する該第1のDA変換器の出力を制御する手段と、該第2のDA変換器と該アナログ加算器入力端間において該直流のオフセット信号の供給を制御する手段と、試験条件に対応して該第1のDA変換器の出力制御手段と該第2のDA変換器の直流オフセット信号の出力制御手段を所定に制御して波形発生条件変更に伴う試験停止時間を短縮する制御手段と、以上を具備していることを特徴とした半導体試験装置。
IPC (2件)：
G01R 31/28
, G01R 31/3183
G01R 31/28 P
, G01R 31/28 Q
