特許
J-GLOBAL ID：200903024765226246

プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置

発明者：
松永 浩一

松永 浩一 について

, 
澤田 康志

澤田 康志 について

, 
田中 昇

田中 昇 について


出願人/特許権者：
株式会社ハイデン研究所

株式会社ハイデン研究所 について

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松下電工株式会社

松下電工株式会社 について


代理人 (1件)： 原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302893
公開番号（公開出願番号）：特開2003-109794
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：
【要約】【課題】 連続使用しても電極が加熱されて高温プラズマになるようなことはなく、処理時間を短縮できるとともに、安定した低温プラズマにより処理品質を向上させることができ、また異常放電により被処理物にダメージを与えることもなく、更にプラズマ発生の制御が容易であるのに加え装置規模も小さくできるようにする。【解決手段】 一対の電極1・2間に印加する高電圧を減衰振動波が間欠的に繰り返し生ずる減衰振動波形周期波として各減衰振動波ごとに共振させ、その各減衰振動波ごとに、アーク放電発生に伴い共振ズレを生じさせてアーク放電を中断させることにより、間欠的アーク放電とする。
請求項（抜粋）：
対向する一対の電極間に高電圧を印加して強制的にアーク放電させ、これら電極間にガスを送入してその風力によって放電を拡張させるプラズマ発生方法において、前記一対の電極間に印加する高電圧を減衰振動波が間欠的に繰り返し生ずる減衰振動波形周期波として各減衰振動波ごとに共振させ、その各減衰振動波ごとに、アーク放電発生に伴い共振ズレを生じさせてアーク放電を中断させることにより、間欠的アーク放電とすることを特徴とするプラズマ発生方法。
IPC (4件)：
H05H 1/24 ,  A61L 2/14 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/32
FI (4件)：
H05H 1/24 ,  A61L 2/14 ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/32
Fターム (20件)：
4C058AA01 ,  4C058BB02 ,  4C058DD03 ,  4C058DD11 ,  4C058DD12 ,  4C058KK06 ,  4C058KK11 ,  4C058KK21 ,  4C058KK27 ,  4C058KK50 ,  4G075AA22 ,  4G075BA05 ,  4G075BA10 ,  4G075CA17 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA03 ,  4G075DA04 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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