特許
J-GLOBAL ID：200903024872089782
ダイシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350069
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173953
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ等のワークの搬送効率を低下することなく、構成を簡略化してコスト面での負担やメンテナンスの負担を軽減できる新規なダイシング装置を提供する。【解決手段】 第4の位置P4から第1の位置P1へのワーク搬送は行われないため、旋回アーム1に同一円周上に90度間隔で3つの吸着ヘッド2を設けておけば、最も多くのワークWが同時に搬送される状態、即ち、第1の位置P1から第2の位置P2へのワーク搬送と、第2の位置P2から第3の位置P3へのワーク搬送と、第3の位置P3から第4の位置P4へのワーク搬送を同時に行う状態でも、このときのワーク搬送を良好に行うことができる。
請求項（抜粋）：
ダイシング前のワークを供給する第1の位置と、加工テーブル上にダイシング前のワークを搭載する第2の位置と、ダイシング後のワークを洗浄する第3の位置と、洗浄後のワークを保管する第4の位置と、第2の位置から離れたダイシング領域において加工テーブル上のワークをダイシングするダイシング機構と、第1の位置から第2の位置へのワーク搬送と第2の位置から第3の位置へのワーク搬送と第3の位置から第4の位置へのワーク搬送を可能としたワーク搬送機構とを備え、前記第1の位置〜第4の位置は同一円周上に90度間隔で配置され、前記ワーク搬送機構は、前記円周の中心に旋回軸を有し、且つ、3つのワーク吸着ヘッドを前記円周に沿って90度間隔で有する旋回アームを備える、ことを特徴とするダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B65G 49/07
, H01L 21/68
H01L 21/78 N
, B65G 49/07 C
, H01L 21/68 A
5F031GA08
, 5F031GA47
, 5F031MA34
