特許
J-GLOBAL ID：200903024878041390
基準板、表面検査装置の光軸調整方法、及び表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-087619
公開番号（公開出願番号）：特開2009-243920
出願日： 2008年03月28日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】リニアアレイカメラが正反射光を受光しているか否かを判断して、被検査体の長手方向の視野調整を行うことができる基準板、表面検査装置の光軸調整方法、及び表面検査装置を提供する。【解決手段】視野基準線33を含む第一の表面性状領域31と、第二の表面性状領域32とから形成された基準板30を用いて、視野基準線33の長手方向に直交する方向におけるあおり角が所定範囲内になるようにリニアアレイカメラ12のあおり角を調整するステップと、リニアアレイカメラ12の視野を、視野基準線33の長手方向に直交する方向に略平行移動させて、予め決定された許容範囲内の輝度となる撮像素子数が所定値以上となるように調整するステップとを含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被検査体に対して光を照射し、前記被検査体からの正反射光をリニアアレイカメラで受光し、前記リニアアレイカメラの画像信号により前記被検査体の検査を行う表面検査装置の光軸調整に用いられる基準板であって、
該基準板の表面が、正反射方向で最も反射率が高くなる第一の表面性状領域と、正反射方向における反射率が前記第一の表面性状領域の正反射方向における反射率よりも低い第二の表面性状領域とから形成され、かつ、前記第一の表面性状領域が、所定幅の視野基準線と、前記視野基準線から幅方向に離れるに従って、前記第一の表面性状領域が漸増するパターンとから形成されており、前記視野基準線の長手方向を前記リニアアレイカメラの撮像素子の配列方向に一致させると共に、前記基準板の表面の位置を前記被検査体の測定面の位置に一致するように、かつ、基準板の視野基準線が前記表面検査装置の設計上の視野基準位置と一致するように設置されることを特徴とする基準板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CC11
, 2G051DA06
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EC03
