特許

J-GLOBAL ID：200903024880657110

微細凹凸量測定装置及び走査型電子顕微鏡

発明者： 朝木 三之
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354221
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157790
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】アスペクト比の大きな場合における凹部位の深さH等を測定することが可能な微細凹凸量測定装置を提供する。【解決手段】被観察対象の表面を走査して試料の深さ若しくは高さを測定する微細凹凸量測定装置において、試料に照射した入射電子に基づいて対物レンズの内側を通過する反射電子の中で、所定角度領域内の反射電子のみを受けて電気信号に変換する形状計測用インレンズ型の反射電子検出手段を備える、微細凹凸量測定装置。

請求項（抜粋）：

被観察対象(試料)の表面を電子ビームによって走査して試料の深さ若しくは高さを測定する微細凹凸量測定装置において、試料に照射した入射電子の反射による反射電子の中の、対物レンズの内側を通過する反射電子の中で、所定角度領域内の反射電子のみを受けて電気信号に変換する形状計測用インレンズ型の反射電子検出手段を備える、ことを特徴とする微細凹凸量測定装置。

IPC (5件)：

H01J 37/244 ,  G01B 15/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

H01J 37/244 ,  G01B 15/00 B ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/28 B

Fターム (18件)：

2F067AA45 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067LL02 ,  2F067PP11 ,  2F067UU01 ,  5C001AA05 ,  5C001CC08 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-284883   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-097358
  
• 電子線装置および走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106405   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-097358