走査電子顕微鏡

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284883
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110351
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】高分解能での像観察を達成し、かつ試料の凹凸の情報を得る。【解決手段】磁界漏洩形対物レンズ7の電子源1側に配置した検出器10a,10bにて、試料8の面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子12aを検出して試料像を形成する。試料像に現れる明暗の陰影から試料の凹凸情報を得る。

請求項（抜粋）：

電子線を発生する電子源と、前記電子線を集束するための集束レンズと、集束された電子線を細く絞って試料上に照射するための磁界形の対物レンズと、前記電子線を試料上で二次元的に走査するための偏向器と、電子線照射により試料から放出された信号を検出するために前記対物レンズよりも前記電子源側に配置された検出器と、前記検出器により検出された信号を試料像として表示するための表示手段と、試料に照射される電子線を減速するための電界を発生させる減速電界発生手段と、前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御するための電圧制御手段とを具備し、前記電圧制御手段は試料から発生した信号のうち試料面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子が前記検出器で検出されるように前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御し、試料表面の凹凸に対応して明暗のついた試料像を得ることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 B

Fターム (6件)：

5C033FF00 , 5C033FF04 , 5C033NN02 , 5C033NP06 , 5C033NP08 , 5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (7件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-275837 出願人：株式会社日立製作所
特公平6-043885
荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-195211 出願人：日本電子株式会社

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