特許
J-GLOBAL ID：200903024892460975
静電容量式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061273
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 基準静電容量の変化が少ない静電容量式圧力センサを得る。【解決手段】 主容量電極5及び基準容量電極6との間にベース基板4とダイアフラム10とを結合する絶縁性スペーサ3bを設ける。絶縁性スペーサ3bのパターンを基準容量電極6とダイアフラム電極11との間の距離の変化を抑制するように定める。
請求項（抜粋）：
間隔をあけて配置された主容量電極及び基準容量電極を備えたベース基板と、前記主容量電極及び基準容量電極と対向するダイアフラム電極を備えたダイアフラムと、前記ベース基板と前記ダイアフラムとを外周部において結合する封着絶縁層とを具備する静電容量式圧力センサにおいて、前記主容量電極及び基準容量電極との間に配置されて前記ベース基板と前記ダイアフラムとを結合する絶縁性スペーサが設けられ、前記絶縁性スペーサのパターンは、前記基準容量電極と前記ダイアフラム電極との間の距離の変化を抑制するように定められていることを特徴とする静電容量式圧力センサ。
引用特許：
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