特許
J-GLOBAL ID：200903024913666250
圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207118
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043226
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 構造がより単純になる圧電素子を用いたセンサを提供する。【構成】 可撓性をもった円盤50の周囲はセンサ筐体に固着され、中心部に作用した力が検出される。円盤50の上面には、ドーナツ円盤状の圧電素子20が位置し、この圧電素子20の上面には、D1〜D6のパターンで示された上部電極層が形成される。また、この圧電素子20の下面には同じくD1〜D6のパターンをもった下部電極層が形成され、この下部電極層の下面は円盤50の上面に固着される。上下一対の電極層とこれらの間に挟まれた圧電素子20の一部分とにより1組の検出子が形成され、合計6組の検出子D1〜D6が形成される。X、Y、Zの各軸方向に作用した力は、それぞれ検出子D1,D2、検出子D3,D4、検出子D5,D6の発生電荷により検出できる。
請求項（抜粋）：
板状の圧電素子と、この圧電素子の上面に形成された上部電極と、この圧電素子の下面に形成された下部電極と、によって構成される検出子を4組用意し、可撓性をもった基板内の1点に原点を定義し、この原点において互いに直交し、かつ、この基板の主面に平行な方向に伸びるX軸およびY軸を定義し、第1の検出子をX軸上の負の領域に、第2の検出子をX軸上の正の領域に、第3の検出子をY軸上の負の領域に、第4の検出子をY軸上の正の領域に、それぞれ配置し、各検出子の一方の電極を前記基板に固定し、前記基板外側の周囲部分をセンサ筐体に固定し、外部から作用する物理量に基づいて発生した力を、前記原点に伝達する機能を有する作用体を形成し、前記作用体に発生したX軸方向に関する力を、前記第1の検出子および前記第2の検出子において発生した電荷に基づいて検出し、前記作用体に発生したY軸方向に関する力を、前記第3の検出子および前記第4の検出子において発生した電荷に基づいて検出するようにしたことを特徴とする圧電素子を用いた力センサ。
IPC (5件)：
G01L 1/16
, G01L 5/16
, G01L 9/08
, G01P 15/09
, G01R 33/02
