特許

J-GLOBAL ID：200903024927282897

基板処理装置

発明者： 森田 彰彦 ,  大谷 正美 ,  今西 保夫 ,  辻 雅夫 ,  岩見 優樹 ,  西村 讓一 ,  西村 和浩 ,  濱田 哲也 ,  山本 聡 ,  亀井 謙治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273060
公開番号（公開出願番号）：特開平10-322906
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 電源投入時の瞬間最大消費電力が低減された基板処理装置を提供することである。【解決手段】 複数の処理ユニット11,12,13,14の受電部は、それぞれスイッチ41,42,43,44を介して電源投入スイッチ30の一端に接続されている。電源投入スイッチ30の他端はブレーカ20を介して外部電源Eに接続されている。タイマ51,52,53,54にはそれぞれタイマ値T1 ,T2 ,T3 ,T4 が予め設定されている。電源投入スイッチ30がオンされると、タイマ51〜54がそれぞれタイマ値T1 〜T4 で規定される時間の経過後に対応するスイッチ41〜44をオンさせることにより、処理ユニット11〜14に一定時間ずつ遅延しながら電力が供給される。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う複数の処理部と、外部電源に接続される電源投入手段と、前記電源投入手段による電源投入時に、前記外部電源から供給される電力を時間的にずらせながら前記複数の処理部に順次供給する電力供給制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H02J 3/00 ,  H01L 21/02 ,  H02J 13/00 311

FI (3件)：

H02J 3/00 D ,  H01L 21/02 Z ,  H02J 13/00 311 U

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 複数の電力使用系の動作制御方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-157526   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社