特許
J-GLOBAL ID：200903024975063978
熱式流量計
出願人/特許権者：
株式会社日立製作所
株式会社日立製作所 について
代理人 (2件)： 井上 学 , 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-089157
公開番号（公開出願番号）：特開2009-243996
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】 本発明の目的は、測定素子への水滴の付着を低減し、高精度な計測が可能な熱式流量計を提供することである。【解決手段】 基板表面側に発熱抵抗体,測温抵抗体を形成した測定素子1により流量を測定する熱式流量計において、測定素子1の表面に対面する対面壁3を設け、対面壁3から測定素子1側に向かって突出した片持ち板部5を設け、片持ち板部5の先端と測定素子1との間にギャップ6を設け、片持ち板部5を測定素子1の上流から下流まで延設した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板表面側に発熱抵抗体と測温抵抗体とを形成した測定素子を流体通路内に配置して流量を測定する熱式流量計において、
前記測定素子の表面に対向する流体通路の壁面から前記測定素子側に向かって突出した片持ち板部を設け、前記片持ち板部における突き出し方向の先端部と前記測定素子との間に空隙を設け、前記片持ち板を前記測定素子の上流から下流まで延設したことを特徴とする熱式流量計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
引用特許：
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