特許

J-GLOBAL ID：200903025023856946

種結晶の保持装置

発明者： 堀 憲治
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255135
公開番号（公開出願番号）：特開2001-080990
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】 種結晶の破損によるシリコン単結晶棒落下の発生率を低減する。【解決手段】 ピン孔22bが中心軸a方向に間隔をあけて複数形成され、切欠き部23aが種結晶23の側面にピン孔の数に相応して複数形成され、シードチャックピン24が複数のピン孔にそれぞれ挿入されかつ最上部のピン孔に挿入したピンの胴部24aのみが切欠き部に当接する。隣接する切欠き部の間隔をそれぞれ等間隔とする第1間隔x、隣接するピン孔の間隔をそれぞれ等間隔とする第2間隔yとするとき、第2間隔が第1間隔より広く形成されるか、又は第1間隔と第2間隔が等しく複数のピンの胴部の直径が下方に向かうに従って順次小さく形成されるか、又は第1間隔と第2間隔が等しく複数の切欠き部が下方に向かうに従って順次大きく形成される。複数のシードチャックピンが複数の隣接するピン孔の間隔と同間隔をあけてピンの一端が一体的に連結される。

請求項（抜粋）：

チャック本体(22d)の中心軸(a)に沿って前記チャック本体(22d)の底部に形成された種結晶挿入穴(22a)と前記中心軸(a)に直交するとともに前記中心軸(a)に対して偏倚して形成されたピン孔(22b)とを有するシードチャック(22)と、前記種結晶挿入穴(22a)に挿入可能な外径を有し挿入状態で前記ピン孔(22b)に対向する側面に切欠き部(23a)が形成された種結晶(23)と、前記ピン孔(22b)に挿入され胴部(24a)が前記切欠き部(23a)に当接可能なシードチャックピン(24)とを備えた種結晶の保持装置において、前記ピン孔(22b)が前記中心軸(a)方向に間隔をあけて複数形成され、前記切欠き部(23a)が前記種結晶(23)の側面に前記ピン孔(22b)の数に相応して複数形成され、前記シードチャックピン(24)が前記複数のピン孔(22b)にそれぞれ挿入されかつ最上部のピン孔(22b)に挿入したシードチャックピン(24)の胴部(24a)のみが前記切欠き部(23a)に当接するように構成されたことを特徴とする種結晶の保持装置。

IPC (2件)：

C30B 15/32 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/32 ,  C30B 29/06 502 F

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG11 ,  4G077PH01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 単結晶引上げ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-107183   出願人：株式会社東芝