波長コンペンセータ、該波長コンペンセータを用いたレーザ干渉測定装置、該レーザ干渉測定装置を有するステージ装置、該ステージ装置を有する露光システム、および該露光システムを用いて製造されたデバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086406
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225114
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】使用雰囲気に影響されずより正確な計測が可能なレーザ干渉測定装置を実現する。【構成】基準真空チューブ106と、2つのレーザビーム12を干渉させる偏光シアプレート101と、レーザビーム12の波長情報を持った干渉ビーム18を受光するレシーバ21とを有する。基準真空チューブ106には真空ポンプ110が設けられる。基準真空チューブ106内は真空ポンプ110により排気され、基準真空チューブ106内の屈折率は1に保たれる。

請求項（抜粋）：

両端が密閉され、一端から入射したレーザビームを他端で反射させて戻す基準真空チューブと、前記レーザビームを干渉させる干渉手段と、前記レーザビームの波長変動情報を持った干渉ビームを受光する受光手段とを有する波長コンペンセータにおいて、前記基準真空チューブの真空劣化を減ずる手段を設けたことを特徴とする波長コンペンセータ。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G01B 9/02 , G01J 9/00 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-210850
特開平4-278531
特開平4-345012

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