特許
J-GLOBAL ID：200903025170751475

識別マークの読取方法及び識別マークの読取装置

発明者：
佐々木 正治

佐々木 正治 について


出願人/特許権者：
ヤマハ株式会社

ヤマハ株式会社 について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-168304
公開番号（公開出願番号）：特開2009-010055
出願日： 2007年06月26日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：
【課題】識別マークが形成されたウェハの主面側を樹脂で封止した場合においても識別マークを読み取り可能とする。【解決手段】ウェハ1の主面1cに凹凸状の識別マーク20を形成し、且つ、該識別マーク20を含む主面1cを樹脂層1hにより封止した状態において識別マークを読み取るための装置であって、ウェハ1の裏面1b側から主面1cに向けて赤外光線を照射する複数の照明ユニット13A,13Bと、ウェハ1を透過して主面1cと樹脂層1hとの接合界面において反射した赤外光線の反射光を受光して接合界面を撮像する撮像ユニット16とを備え、複数の照明ユニット13A,13Bの光軸R1,R2は、主面1cに対して各々異なる方向に交差し、撮像ユニット16は、接合界面において同一方向に反射した複数の赤外光線の反射光のみを受光することを特徴とする識別マーク20の読取装置Aを提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェハの主面に形成され、且つ、樹脂層によって前記主面と共に封止された凹凸状の識別マークを読み取る方法であって、 光軸が前記主面に対して各々異なる方向に交差する複数の赤外光線を、前記ウェハの裏面側から前記主面に向けて照射し、 前記複数の赤外光線を前記ウェハに透過させて前記主面と前記樹脂層との接合界面において反射させ、 前記接合界面において同一方向に反射した複数の赤外光線の反射光を受光して前記接合界面を撮像し、撮像された画像により前記識別マークを読み取ることを特徴とする識別マークの読取方法。
IPC (1件)：
H01L 21/02
FI (1件)：
H01L21/02 A
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 物流管理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-310426   出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (2件)

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