放電プラズマを用いた空気中揮発性有機化合物除去装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157778
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000325
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】大気圧、常温下で、放電を用いてプラズマを発生させ、かつ処理ガスとプラズマを有効に接触させて処理ガスを分解すると同時に、活性炭やシフトコンバータを用いて、放電二次生成物を無害化できる空気中揮発性有機化合物除去装置を提供する。【解決手段】処理ガス入口ヘッダ11と出口ヘッダ12間に多数のキャピラリー放電管13を接続し、その各キャピラリー放電管13の出入口に針電極15,16を対向して配置すると共に、その針電極15,16間に直流高圧電源17を接続したものである。

請求項（抜粋）：

処理ガス入口ヘッダと出口ヘッダ間に多数のキャピラリー放電管を接続し、その各キャピラリー放電管の出入口に針電極を対向して配置すると共に、その針電極間に直流、交流またはパルス高圧電源を接続したことを特徴とする放電プラズマを用いた空気中揮発性有機化合物除去装置。

IPC (2件)：

B01D 53/32 , B01D 53/72

FI (2件)：

B01D 53/32 , B01D 53/34 120 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガス浄化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-080745 出願人：富士通株式会社
高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-355878 出願人：工業技術院長, 東京電力株式会社, 日本電子株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日鉄化工機株式会社, 東京大学長, 株式会社日鉄技術情報センター
特開昭62-033527

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