特許

J-GLOBAL ID：200903025235516762

吸着装置

発明者： 不破 耕 ,  前平 謙
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205730
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054445
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】絶縁性の基板を吸着できる吸着装置を提供する。【解決手段】表面が絶縁されている基体10上に第1、第2の電極11、12を露出して設け、絶縁性の基板7が第1、第2の電極11、12表面に接触するか、非常に近接して配置されるようにする。第1、第2の電極11、12間には、空間変化率の大きな電場が形成されるので、グラディエント力により、基板7は吸着装置1表面に吸着される。グラディエント力の大きさは電場の変化率の大きさに依存しているので、第1、第2の電極11、12間に電圧を印加し、1.0×106V/m以上の電場を形成するとよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状の基体と、 前記基体表面に互いに絶縁した状態で配置され、第1の電圧が印加される第1の電極と、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧が印加される第2の電極とを有することを特徴とする吸着装置。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00 ,  C23C 14/34

FI (4件)：

H01L21/68 R ,  B23Q3/15 D ,  H02N13/00 D ,  C23C14/34 J

Fターム (13件)：

3C016GA10 ,  4K029CA05 ,  4K029JA00 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許第5,751,537号公報
  
• 米国特許第5,847,918号公報
  
• 米国特許第5,229,910号公報
  
• 米国特許第5,103,367号公報
  
• 台湾発明公告第395006号公報
  
• 国際公開WO98/57371
  

審査官引用 (1件)

• 静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048175   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 三菱マテリアル株式会社