液晶用ガラス基板の熱処理装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189222
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033873
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】液晶ディスプレイ用ガラス基板に、各種目的で塗布された材料の熱処理をおこなう装置における、昇温及び冷却特性の向上によるコンパクト化及び温度分布の均一化を達成させる。【解決手段】ガラス基板の入口部と出口部とを設けた空洞部を設け、前記空洞部の内部下面に入口部から出口部へ向い複数枚の昇温部用ホットプレート、複数枚の均熱部用ホットプレート、複数枚の冷却部用ホットプレート、コールドプレートをこの順に設け、前記各ホットプレートに対向した空洞部の内部上面に複数枚の反射板をそれぞれ設置すると共に、上下前後左右に可動する複数本の支持金具で1枚のガラス基板を支持し前記各ホットプレート及びコールドプレートに順次載せ変えて搬送する枚葉式の搬送機構を有する熱処理装置であって、各ホットプレートの表面にアルミナセラミックスコーティングを施したことを特徴とする液晶用ガラス基板の熱処理装置。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の入口部と出口部とを設けた空洞部を設け、前記空洞部の内部下面に入口部から出口部へ向い複数枚の昇温部用ホットプレート、複数枚の均熱部用ホットプレート、複数枚の冷却部用ホットプレート、コールドプレートをこの順に設け、前記各ホットプレートに対向した空洞部の内部上面に複数枚の反射板をそれぞれ設置すると共に、上下前後左右に可動する複数本の支持金具で1枚のガラス基板を支持し前記各ホットプレート及びコールドプレートに順次載せ変えて搬送する枚葉式の搬送機構を有する熱処理装置であって、各ホットプレートの表面にアルミナセラミックスコーティングを施したことを特徴とする液晶用ガラス基板の熱処理装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

ベーク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-148067 出願人：東京応化工業株式会社, タツモ株式会社
特開平2-312179
特開平1-117287

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