特許

J-GLOBAL ID：200903025319940969

基板移載ロボット装置

発明者： 松 成 真 一
出願人/特許権者： 平田機工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-273638
公開番号（公開出願番号）：特開2006-088235
出願日： 2004年09月21日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】 静止状態にある矩形基板を保持し、直進動作で別の位置へ搬送を行なう場合、基板移載ロボット装置上において、基準位置と基板の横方向(X方向)の位置ズレを検出し、搬入時に位置ズレを補正する技術を提供すること。【解決手段】 静止状態にあるガラス基板Wを保持し搬送を行なう基板移載ロボット装置1であって、ハンドH1、H2の移載面上にガラス基板が位置し、且つロボット上での待機位置に移動した状態において、ロボット装置上の基準位置と基板位置との位置ズレ値を検知するセンサを基部100に備え、搬入時の駆動制御を行なう。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を保持し移載を行なう保持部を、待機位置と移載位置との間で往復駆動させ、さらに昇降と旋回を行なうように構成し、静止状態にある矩形基板を搬出搬入する基板移載ロボット装置であって、前記保持部に基板が保持され、且つ待機位置に後退した状態において、基板移載ロボット装置上の基準位置からの矩形基板の位置ズレ量を検出するセンサを備えることを特徴とする基板移載ロボット装置。

IPC (3件)：

B25J 13/08 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J13/08 Z ,  B65G49/06 A ,  H01L21/68 F

Fターム (35件)：

3C007AS02 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007KS05 ,  3C007KS30 ,  3C007KV11 ,  3C007KX07 ,  3C007LT12 ,  3C007LV05 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA36 ,  5F031GA42 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 版材焼付装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-129869   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 基板搬送装置、基板処理システム及び基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-228505   出願人：東京エレクトロン株式会社