特許
J-GLOBAL ID：200903098887236327

基板搬送装置、基板処理システム及び基板搬送方法

発明者：
田上 真也

田上 真也 について

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岩崎 達也

岩崎 達也 について

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大塚 慶崇

大塚 慶崇 について

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相良 典秀

相良 典秀 について

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熊谷 典俊

熊谷 典俊 について

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林 伸也

林 伸也 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228505
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142559
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 別途の駆動機構を設けることなく、簡単な構造により当該進退方向と直交する方向に関する基板の位置ずれを検出することができる基板搬送装置及び位置ずれを補正できる基板処理システムを提供すること。【解決手段】 ピンセットを引いてカセットCから基板Gを取り出し、ピンセットを引いていくと、基板Gを取り出す前は位置Pにあったセンサ9が、軌跡Tを描いて基板Gの一辺Gaを通過移動する。これにより、保持された基板Gの、ピンセットの進退方向と直交する方向(Y方向)に関する位置は、センサ9が一辺Gaを通過移動したときの反射光を受光するタイミングと、モータの回転パルス数とにより算出さる。従って、ピンセットの正常位置に保持された場合のタイミングと比較することにより位置ずれを検出できる。
請求項（抜粋）：
基板を水平に保持する保持部と、前記保持部を水平面内で進退移動させる駆動手段と、前記保持部により保持された基板の、前記進退方向一辺の一部を通過移動可能に設けられ、前記保持された基板の前記進退方向と直交する方向に関する位置を検出する第1のセンサとを具備することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B25J 15/08 ,  B25J 19/02 ,  B65G 49/06
FI (6件)：
H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 B ,  B25J 13/08 Z ,  B25J 15/08 U ,  B25J 19/02 ,  B65G 49/06 A
Fターム (45件)：
3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BT11 ,  3C007ES17 ,  3C007KS04 ,  3C007KV12 ,  3C007KX02 ,  3C007KX05 ,  3C007KX19 ,  3C007MT04 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA27 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031KA10 ,  5F031KA12 ,  5F031KA15 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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