特許
J-GLOBAL ID：200903025333201370

流量制御装置

発明者：
後藤 崇夫

後藤 崇夫 について

, 
田中 誠

田中 誠 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-312770
公開番号（公開出願番号）：特開2008-129765
出願日： 2006年11月20日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。【解決手段】 流体を流す流路6に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段8と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構10とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号S0と流量信号S1とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段44を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段42を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第1制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第2制御モードとを選択的に切り替える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流体を流す流路に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構とを設け、外部から入力される流量設定信号に基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる流量制御装置において、 前記流路に前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段を設け、 前記制御手段は、前記圧力検出信号を用いることなく、前記流量信号と前記流量設定信号とに基づいて流量の制御を行う第1制御モードと、前記圧力検出信号から得られる圧力変化量と前記流量設定信号とに基づいて流量の制御を行う第2制御モードとを選択的に切り替えるように構成することを特徴とする流量制御装置。
IPC (3件)：
G05D 7/06 ,  G01F 1/68 ,  G01F 1/34
FI (3件)：
G05D7/06 Z ,  G01F1/68 Z ,  G01F1/34 A
Fターム (14件)：
2F030CA04 ,  2F030CC11 ,  2F035EA00 ,  5H307AA20 ,  5H307BB01 ,  5H307DD01 ,  5H307DD07 ,  5H307EE03 ,  5H307EE19 ,  5H307FF04 ,  5H307FF12 ,  5H307GG04 ,  5H307HH12 ,  5H307JJ01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 質量流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-027306   出願人：日立金属株式会社
審査官引用 (2件)
  • 質量流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-027306   出願人：日立金属株式会社
  • 流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-062573   出願人：国際電気株式会社

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