質量流量制御装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-027306
公開番号（公開出願番号）：特開2005-222173
出願日： 2004年02月03日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】圧力変動を吸収することができて質量流量の制御性が高い質量流量制御装置を提供する。【解決手段】流体を流す流路6に、質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段8と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構10とを介設し、外部から入力される流量設定信号S0と流量信号S1とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段44を設けてなる質量流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段42を介設し、制御手段は圧力検出信号から得られる圧力変化量に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて質量流量の制御を行う第1制御モードと、圧力検出信号と流量信号と流量設定信号とに基づいて質量流量の制御を行う第2制御モードとを選択的に切り替える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流体を流す流路に、質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを介設し、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる質量流量制御装置において、前記流路に前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段を介設し、前記制御手段は、前記圧力検出信号から得られる圧力変化量に基づいて、前記圧力検出信号を用いることなく前記流量信号と前記流量設定信号とに基づいて質量流量の制御を行う第1制御モードと、前記圧力検出信号と前記流量信号と前記流量設定信号とに基づいて質量流量の制御を行う第2制御モードとを選択的に切り替えるように構成したことを特徴とする質量流量制御装置。

IPC (2件)：

G05D7/06 , G01F1/00

FI (2件)：

G05D7/06 Z , G01F1/00 X

Fターム (13件)：

2F030CC11 , 2F030CF01 , 2F030CF08 , 2F030CF09 , 5H307AA01 , 5H307AA20 , 5H307BB01 , 5H307DD07 , 5H307EE02 , 5H307FF06 , 5H307FF12 , 5H307GG15 , 5H307HH12

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開平1-227016号公報
特開平4-366725号公報
特開平4-366726号公報

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審査官引用 (5件)

流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-062573 出願人：国際電気株式会社
特開平3-014010
特開平3-014010

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