特許

J-GLOBAL ID：200903025368867398

圧電振動式慣性センサ

発明者： 判治 元康
出願人/特許権者： キンセキ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-023928
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222522
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 圧電振動子を用いた圧電振動式角速度センサにおいて、感度を良くするために、励振振幅を大きくとることを目的とする。【解決手段】 課題を解決するために本発明は、励振させようとする脚部に励振電極のみを有効に配置し、検出電極を基部に設けることにより、励振時のセンサ素子のCI値を改善し、大きな振幅を確保することが可能となる為、センサ素子を小型化してもセンサの感度を大きく改善することができる。また、CI値を小さくすることが可能となることで、センサの起動時間を短縮することが可能となり、電池駆動時の省工ネ対策や、起動後の素早い計測対応(検出動作)を可能とすることにより課題を解決する。

請求項（抜粋）：

Y軸に平行で2つ以上の分岐部を持つ音叉振動子において、その脚部に励振電極と、前記振動子の基部に検出電極とを備え、前記励振電極に交流電圧を印加し、該振動子を振動させながら該振動子の検出電極に生ずる電荷信号に基づいて、作用する角速度を検出することを特徴とする圧電振動式慣性センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Fターム (7件)：

2F105AA01 ,  2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105BB11 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-351887   出願人：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-026298   出願人：松下電器産業株式会社