特許

J-GLOBAL ID：200903025373249783

板状部材の取出しハンド

発明者： 松井 美和 ,  岩田 充浩 ,  岡田 英生
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-237712
公開番号（公開出願番号）：特開2003-048620
出願日： 2001年08月06日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】 サイズや種類に拘わらず積み重ねられたウエハなどの板状部材を1枚づつ円滑かつ確実に取り出せる取出しハンドを提供する。【解決手段】 取り出しハンドは、略四角形状のウエハ10の縦対角方向に対向する1対の隅部を上方から押えて高さ基準とする固定足3a,3bと、ウエハの横対角方向に対向する1対の隅部を上方から吸着,保持する先端に吸着パッド5a,5bをもつ保持足4a,4bと、ウエハの中央部を保持するベルヌーイ吸着器6と、保持足4a,4bを出没駆動して上記高さ基準からのウエハの引き上げ量を変化させるシリンダとを有する。

請求項（抜粋）：

略四角形状をなす板状部材の対角方向に対向する1対の隅部に、この隅部表面を高さ基準にすべく上方から当接する固定足と、上記板状部材のもう1対の対角方向に対向する隅部を上方から吸着または粘着で保持した後、引き上げる保持足と、上記板状部材の中央部を上方から保持した後、引き上げる中央保持機構と、上記板状部材の上記高さ基準からの引き上げ高さを変化させる引上げ高さ調整機構とを有することを特徴とする板状部材の取出しハンド。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/06 A ,  B25J 15/06 M ,  H01L 21/68 B ,  H01L 21/68 C

Fターム (14件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007DS02 ,  3C007FS01 ,  3C007FS04 ,  3C007FT02 ,  3C007FU01 ,  3C007HS14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031GA24 ,  5F031GA28 ,  5F031GA30 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 印刷版枚葉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093106   出願人：富士写真フイルム株式会社