特許

J-GLOBAL ID：200903025415793209

流量制御用バルブ

発明者： 岩淵 俊昭
出願人/特許権者： 株式会社ベンカン
代理人 (1件)： 三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171177
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004062
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 弁体を高速作動させることができるとともに、ミニマム制御において分解能を高めながら弁体の制御性を向上させることができ、また、半導体製造装置の排気系において広範囲な圧力制御を行うことができ、更には、停電時においても弁推力を保持することができる。【解決手段】 弁座10の穴11を開放し、若しくは遮断する弁体14は開閉部15とニードル部16を有する。弁体14をステッピングモータ66の駆動によりスライダー42、偏心カム54等から成るクロススライダクランク機構により正弦曲線運動させる。弁体14をクロススライダクランク機構で作動させることにより、中間部では高速作動させ、ミニマム領域では正弦曲線の頂点付近で作動させることができる。偏心カム54の下死点で弁体14を弁座10に押圧して弁座締め付け反力が偏心カム54の回転に変換されないようにする。

請求項（抜粋）：

流路、この流路の途中に弁座を有するバルブボディと、上記弁座の穴を開放し、若しくは遮断する弁体と、この弁体を正弦曲線運動させるクロススライダクランク機構およびこのクロススライダクランク機構の駆動源を有するアクチュエータとを備えた流量制御用バルブ。

IPC (3件)：

F16K 31/52 ,  F16K 31/04 ,  F16K 49/00

FI (3件)：

F16K 31/52 ,  F16K 31/04 Z ,  F16K 49/00 B

Fターム (24件)：

3H062AA02 ,  3H062BB04 ,  3H062BB33 ,  3H062CC02 ,  3H062DD05 ,  3H062EE11 ,  3H062FF39 ,  3H062FF40 ,  3H062HH02 ,  3H062HH10 ,  3H063AA01 ,  3H063BB01 ,  3H063BB22 ,  3H063BB31 ,  3H063BB50 ,  3H063DA14 ,  3H063DB50 ,  3H063GG03 ,  3H063GG11 ,  3H066AA01 ,  3H066BA11 ,  3H066BA19 ,  3H066BA21 ,  3H066BA38

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-017779
  
• ヒーティング機能付真空弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-111243   出願人：シーケーディ株式会社
• 真空圧力制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-248495   出願人：シーケーディ株式会社
• 開放弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-300494   出願人：能美防災株式会社
• 特開昭61-017779