特許

J-GLOBAL ID：200903025462707558

放射線画像検出装置

発明者： 今井 真二 ,  成行 書史
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛 ,  渋谷 淑子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-331496
公開番号（公開出願番号）：特開2009-158510
出願日： 2007年12月25日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：

【課題】放射線画像検出装置におけるリーク電流を軽減し、コンタクトホールのエッジで発生する結晶化を抑制するとともに、放射線画像検出装置の電界を安定化させることができるものとする。【解決手段】放射線画像検出装置を、放射線の照射を受けて電荷を発生する電荷発生層6と、この電荷発生層6に電圧を印加するための電圧印加電極7と、電荷発生層6において発生した電荷を収集する電荷収集電極11と、この電荷収集電極11によって収集された電荷を読み出すためのスイッチング素子を有する画素部が2次元状に多数配列された検出層10とが基板1上に積層された放射線画像検出装置において、電荷収集電極11の面内のコンタクトホール16およびコンタクトホール16の周辺領域のみに電界緩和部材17を設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、放射線の照射を受けて電荷を発生する電荷発生層と、該電荷発生層に電圧を印加するための電圧印加電極と、前記電荷発生層において発生した電荷を収集する電荷収集電極と、該電荷収集電極によって収集された前記電荷を読み出すためのスイッチング素子を有する画素部が2次元状に多数配列された検出層とが基板上に積層された放射線画像検出装置において、 前記電荷収集電極の面内にコンタクトホールを有し、該コンタクトホールおよび該コンタクトホールの周辺領域のみに電界緩和部材を設けたことを特徴とする放射線画像検出装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/146

FI (3件)：

H01L27/14 K ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 C

Fターム (19件)：

2G088EE03 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088KK32 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118CB20 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FB03 ,  4M118FB13 ,  4M118FB23 ,  4M118FB25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• X線平面検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-342269   出願人：株式会社東芝
• 積層型固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352868   出願人：オリンパス光学工業株式会社, 日本放送協会