連続式プラズマ処理・表面加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110811
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302902
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】厚みや形状などが多種多様な被処理物に対する適用性の拡充が図れるとともに、事前処理を要することなく片方の表面のみに対する所定の加工処理を非常に効率よく行なうことができるようにする。【解決手段】大気圧下でグロー放電プラズマの発生に伴い生成される化学的に活性な励起種を含むガス流を一方向に向けて直線状に噴出可能なプラズマ発生装置2から噴出されるガス流を、搬送装置1により連続搬送される被処理物Sの片方の表面Saに照射させることによって、その片方の表面Saをプラズマ処理した後、続いて、プラズマ処理後の片方の表面Saに、印刷や塗装あるいはグラフト処理などの所定の加工処理を行なう。

請求項（抜粋）：

高圧電極と接地電極との間に形成される放電部に少なくともヘリウムまたは水素を含む不活性ガスと酸素または含フッ素化合物(フルオロカーボン系)ガスを含む反応性気体との混合反応ガスを大気圧もしくは大気圧近傍圧力下で導入し通過させるとともに上記両電極に高周波電力を供給することにより上記放電部にグロー放電プラズマを発生させて化学的に活性な励起種を含むガス流を生成し、かつ、そのガス流を一方向に向けて直線状に噴出可能なプラズマ発生装置から噴出されるガス流を搬送装置により連続的もしくは略連続的に搬送されるシート状被処理物の片方の表面に照射させることによって、該被処理物の片方の表面を面状にプラズマ処理した後、そのプラズマ処理された被処理物の片方の表面に所定の加工処理を施すことを特徴とする連続式プラズマ処理・表面加工方法。

IPC (3件)：

C08J 7/00 306 , H05H 1/24 , D06M 10/02

FI (3件)：

C08J 7/00 306 , H05H 1/24 , D06M 10/02 C

Fターム (17件)：

4F073AA01 , 4F073BA03 , 4F073BA07 , 4F073BA08 , 4F073BA16 , 4F073BB09 , 4F073CA01 , 4F073CA07 , 4F073CA08 , 4F073CA14 , 4F073CA62 , 4F073CA65 , 4F073CA67 , 4L031CB05 , 4L031DA00 , 4L031DA08 , 4L031DA21

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-118136
円筒型連続プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-214149 出願人：キモトテツクインコーポレイテツド
特開昭61-118136

全件表示

前のページに戻る