特許

J-GLOBAL ID：200903025474961662

耐食性モリブデン・マスク

発明者： ピーター・ヘンリー・ベラシ ,  シン・シウン・チェン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012492
公開番号（公開出願番号）：特開平10-212567
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 基板の予め選択した領域上に導電性材料をスパッタ付着させるのに使用される、遷移金属炭化物でコーティングしたモリブデン・マスクを提供すること。【解決手段】 炭化物が、マスクの洗浄および関連する工程中に、マスク上に画定された金属の像の劣化を防止し、これによりマスクの耐用寿命を大幅に延長する。本発明によれば、スパッタ・コーテイングおよび同様の蒸着処理に使用するモリブデン・マスクの耐用寿命が短いという問題が解決される。

請求項（抜粋）：

基板の予め選択した領域を表すパターンを形成するように配置された開口を有するモリブデン・マスクと、上記マスクの外面に設けられ、遷移金属の炭化物で形成された炭化物コーティングとを備える、基板の予め選択した領域上に導電性材料をスパッタ付着させるためのマスク。

IPC (3件)：

C23C 14/04 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (3件)：

C23C 14/04 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法、及びこれに用いる接着剤あるいは接着シート類
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-294438   出願人：日東電工株式会社
• 特開昭54-018671
  
• 特開昭60-014831
  
• 表面処理された工作物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-247128   出願人：ヨシザワエルエー株式会社