特許

J-GLOBAL ID：200903025486826850

圧力センサ

発明者： 山本 隆
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 道夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-030653
公開番号（公開出願番号）：特開2005-221418
出願日： 2004年02月06日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】 シンプルな構成で小型且つ低コストとしつつ、磁化物の保磁力の低下等に影響されない高精度な圧力センサを得る。【解決手段】 筐体12の一部を形成する上部隔壁12Aの下面側の中央部に、周囲に磁場を生じさせるマグネット14が取り付けられる。磁束方向の変化を検出し得るスピンバルブ型GMR素子22の感応部22Aが、基板22Bに搭載された形で設けられる。基板22Bをその側面に配置した支持部材16が、筐体12の底面となる下部隔壁12C上に取り付けられて固定され、マグネット14と空隙を有しつつ対向して、この感応部22Aが筐体12内に配置される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

加わる外力に応じて変位する隔壁を一部に有した筐体と、 磁極の存在に伴って周囲に磁場を生じさせる磁場発生部材と、 磁場発生部材と空隙を有した形で筐体に配置され且つ、磁束方向の変化を検出し得る磁化方向感応素子と、 を有したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L9/14 ,  G01L1/00

FI (2件)：

G01L9/14 ,  G01L1/00 F

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC01 ,  2F055DD01 ,  2F055DD11 ,  2F055EE27 ,  2F055FF11 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微小圧力差検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-238331   出願人：ニッコーシ株式会社