特許

J-GLOBAL ID：200903025494957904

枚葉化学処理装置とその運転方法

発明者： 川崎 清弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-137663
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 スピン処理型の化学処理装置において、第1の薬液と第2の薬液または純水とを効率よく分離・回収することを目的とする。【解決手段】 カップ状容器28の底面部に上部開口部が基板40の大きさより小さい範囲からカップ状容器28の側壁内面60に接するまで可動範囲を有するロート状仕切壁50を設けるとともに、上部開口部の開口度を変化させてカップ状容器内に二つの排液空間を形成し、第1の薬液と第2の薬液または処理水の分離回収効率を高める。従って、回収される第1の薬液および第2の薬液または処理水が相互に混入する恐れは低減し、薬液および処理水の産業処理コストの削減が可能となる。

請求項（抜粋）：

基板を静止または回転させながら第1の薬液および第2の薬液または純水の液体を滴下または噴射して処理する化学処理装置において、上部開口部が基板の大きさより小さい範囲からカップ状容器の側壁内面に接するまでの可動範囲を有するロート状の仕切壁を設け、このロート状仕切壁により2分されたカップ状容器の各処理室毎に排液配管を接続して設けたことを特徴とする枚葉化学処理装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-195344   出願人：大日本スクリーン製造株式会社