特許
J-GLOBAL ID：200903025515140032

プローブ装置

発明者：
小林 将人

小林 将人 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-016060
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218176
出願日： 2002年01月24日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 装置構成の大幅な変更を必要とすることなく、使用されるプローブカードに関する個々の情報を、プローブ装置側で自動的に取得することができ、プローブカードの種類、機差、使用履歴等に応じて適切な取り扱いを行うことのできるプローブ装置を提供する。【解決手段】 プローブカード4には、カード側無線通信機構47が貼着されている。プローブ装置の筐体2内には、上記カード側無線通信機構47と無線通信して、各プローブカード4に関する情報を読取り、また、必要に応じて使用履歴に関する情報を書き換えるための無線通信機構25が設けられている。この無線通信機構25によってカード側無線通信機構47から読み取られた情報は、プローブ装置の全体の動作を制御するための制御部26に送られ、また、カード側無線通信機構47の情報を書き換えるための情報は、制御部26から無線通信機構25に送られる。
請求項（抜粋）：
被測定基板に形成された半導体素子の電極パッドに対応して複数のプローブ針が設けられたプローブカードを所定の取付治具に着脱自在に保持可能とされ、前記プローブカードと前記被処理基板を相対的に移動させ、前記電極パッドに、前記プローブ針を順次接触させて前記半導体素子の電気的検査を行うプローブ装置において、前記プローブカードに当該プローブカードに関する情報を記憶する記憶手段を具備した第1の無線通信手段を設けるとともに、装置内の所定の通信領域に前記プローブカードが位置した時に前記第1の無線通信手段と無線通信を行う第2の無線通信手段を設け、前記記憶手段に記憶された前記プローブカードに関する情報を読取り可能としたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28
FI (4件)：
H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/28 K
Fターム (9件)：
2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AH07 ,  2G011AE03 ,  2G132AF05 ,  2G132AL06 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD30
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 半導体デバイスの検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253810   出願人：イノテック株式会社
  • プローバ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-319033   出願人：株式会社東京精密

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