特許

J-GLOBAL ID：200903025552954058

圧電薄膜共振子及びフィルタ

発明者： 西原 時弘 ,  横山 剛 ,  坂下 武 ,  岩城 匡郁 ,  宮下 勉
出願人/特許権者： 富士通メディアデバイス株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-360054
公開番号（公開出願番号）：特開2005-124107
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 横モードの波による悪影響を抑制しつつ、十分なメンブレン部の強度と良好な空隙の製造性を有した構造を採用することにより、特性ばらつきの少ない圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタを提供すること。【解決手段】 基板と、該基板上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された圧電膜と、該圧電膜上に形成された上部電極とを含む圧電薄膜共振子において、 前記上部電極と前記下部電極の対向する部位の形状が楕円形であり、該楕円形の主軸の長さをa、副軸の長さをbとした時、1<a/b<1.9を満たすように構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された圧電膜と、該圧電膜上に形成された上部電極とを含む圧電薄膜共振子において、 前記上部電極と前記下部電極の対向する部位の形状が楕円形であり、該楕円形の主軸の長さをa、副軸の長さをbとした時、1<a/b<1.9を満たしていることを特徴とする圧電薄膜共振子。

IPC (5件)：

H03H9/17 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H03H9/58

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/58 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B

Fターム (13件)：

5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108GG03 ,  5J108GG14 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK04 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許6、150、703号公報
  
• 米国特許6、215、375号公報
  
• 圧電薄膜振動素子、及びこれを用いたフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-331552   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-201766   出願人：株式会社村田製作所
• 圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-013984   出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
• 特開昭62-076913
  

審査官引用 (4件)

• 圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-013984   出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
• 圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-201766   出願人：株式会社村田製作所
• 圧電薄膜振動素子、及びこれを用いたフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-331552   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 特開昭62-076913